반응형

하이-na euv 2

반도체 공정(2) – 포토리소그래피의 원리와 응용

반도체 제조에서 가장 핵심적인 공정 중 하나는 **포토리소그래피(Photolithography)**입니다. 이 공정은 웨이퍼 위에 정밀한 미세 회로 패턴을 형성하는 과정으로, 반도체 칩의 성능과 집적도를 결정하는 중요한 기술입니다. 반도체 회로가 점점 더 미세화(7nm, 5nm, 3nm)되면서 포토리소그래피 기술의 발전이 필수적이 되었으며, EUV(극자외선) 리소그래피 같은 최첨단 기술이 개발되고 있습니다. 이번 글에서는 포토리소그래피 공정의 원리, 주요 기술, 응용 분야 및 최신 트렌드를 자세히 살펴보겠습니다.1. 포토리소그래피(Photolithography)란?포토리소그래피는 빛을 이용하여 웨이퍼 표면에 회로 패턴을 형성하는 공정입니다. 🔹 반도체 웨이퍼 위에 **감광제(포토레지스트, Photore..

디지털 2025.03.15

EUV 기술의 모든 것: 차세대 반도체 초미세 공정의 비밀

EUV(Extreme Ultraviolet) 기술은 차세대 반도체 제조에서 가장 중요한 혁신 기술로 자리 잡았습니다.  초미세 공정을 가능하게 하는 이 기술은 반도체 소자의 집적도를 높이고, 고성능, 저전력 제품을 구현하는 데 필수적입니다.  이 글에서는 EUV 기술의 원리, 반도체 공정에서의 역할, 그리고 미래의 가능성을 자세히 살펴봅니다.EUV 기술이란?1. EUV의 정의EUV는 **극자외선(Extreme Ultraviolet)**을 뜻하며, 파장이 약 13.5nm로 매우 짧은 빛을 이용하는 기술입니다.기존의 DUV(Deep Ultraviolet)보다 훨씬 짧은 파장을 사용해 더 미세한 패턴 구현 가능.초미세 공정을 위해 사용되는 핵심 노광 기술.2. EUV의 필요성반도체 소자의 집적도를 높이기 위해..

디지털 2025.01.04
반응형